问题回馈:
1.我们是led制造商,麻烦几款可以用于离子蚀刻和lift-off工艺的光刻胶。
a 据我所知,futurrex
有几款胶很,nr7-1500p
nr7-3000p是专门为离子蚀刻
设计的,nr9-3000py可以用于lift-off上的应用。
2.请问有没有可以替代goodpr1518,micropure去胶液和goodpr显影液的产品?
a 美国光刻胶,futurrex
正胶pr1-2000a
, 去胶液rr4,和显影液rd6可以解决以上问题。
3.你们是否有可以替代shipley
s1805的用于dvd的应用产品?
a 我们建议使用futurrex
pr1-500a , 它有几个优点:比较好的解析度,比较好的线宽控制,
反射比较少,不需要hmds,rie后去除容易等~
4. 求助,耐高温的光阻是那一种?
a futurrex, nr7 serious(负光阻)orpr1 serious(正光阻),光刻胶 futurrex,再经过hmcts
silyiation process,可以达到耐高温200度,pspi透明polyimide,可耐高温250度以上。
5.厚膜光阻在镀金应用上,用哪一种比较理想?
a futurrex , nr4-8000p比干膜,和其他市面上的湿膜适合,和理想。
6.请教lift-off制程哪一种光阻适合?
a 可以考虑使用futurrex
,正型光阻pr1,负型光阻用nr1&nr7,光刻胶 futurrex,它们都可以耐高温180度,完全可以取代一般制作pattern的光阻。
7.请问,光刻胶 futurrex厂家,那位知道,rie
mask,用什么光阻比较好?
a 正型光阻用pr1系列,负型光阻使用nr5,两种都可以耐高温180度。
8.一般厚膜制程中,哪一种光阻适合?
a nr9-8000p有---的深宽比(超过4:1),一般厚膜以及,mems产品的高需求。
9.在deep
rie和mask 可以使用nrp9-8000p吗?
a 建议不使用,因为使用nr5-8000理想和适合。
10.我们是oled,我们有一种制程上需要一层spacer,那种光阻适合?
a 有一种胶很适合,美国futurrex
生产的nr1-3000py
and和
nr1-6000py,都适合在oled制程中做spacers
负性光刻胶分为粘性增强负性光刻胶、加工负性光刻胶、剥离处理用负性光刻胶三种。
a、粘性增强负性光刻胶
粘性增强负胶的应用是在设计制造中替代基于聚异戊二烯双---的负胶。粘性增强负胶的特性是在湿刻和电镀应用时的粘附力;很容易用光胶剥离器去除,厚度范围是﹤0.1 ~ 120.0 μm,可在i、g以及h-line波长---。
粘性增强负胶对生产量的影响,消除了基于溶液的显影和基于溶液冲洗过程的步骤。优于传统正胶的优势:控制表面形貌的优异带宽、任意甩胶厚度都可得到笔直的侧壁、具有一次旋涂即可获得100 μm甩胶厚度、厚胶层同样可得到---的分辨率、150 ℃软烘烤的应用可缩短烘烤时间、优异的---度进而增强---通量、更快的显影,100 μm的光胶显影仅需6 ~ 8分钟、光胶---时不会出现光胶气泡、可将一个显影器同时应用于负胶和正胶、不必使用粘度增强剂。
i线---用粘度增强负胶系列:np9–250p、np9–1000p、np9–1500p、np9–3000p、np9–6000p、np9–8000、np9–8000p、np9–20000p。
g和h线---用粘度增强负胶系列:np9g–250p、np9g–1000p、np9g–1500p、np9g–3000p、np9g–6000p、np9g–8000。
b、加工负胶
加工负胶的应用是替代用于rie加工及离子植入的正胶。加工负胶的特性在rie加工时优异的选择性以及在离子植入时优异的温度阻抗,厚度范围是﹤0.1 ~ 120.0 μm,光刻胶 futurrex多少钱,可在i、g以及h-line波长---。
加工负胶优于正胶的优势是控制表面形貌的优异带宽、任意甩胶厚度都可得到笔直的侧壁、具有一次旋涂即可获得100 μm甩胶厚度、厚胶层同样可得到---的分辨率、150 ℃软烘烤的应用可缩短烘烤时间、优异的---度进而增强---通量、更快的显影,100 μm的光胶显影仅需6 ~ 8分钟、光胶---时不会出现光胶气泡、可将一个显影器同时应用于负胶和正胶、优异的温度阻抗直至180 ℃、在反应离子束刻蚀或离子减薄时非常容易地增加能量密度,从而提高刻蚀速度和刻蚀通量、非常容易进行高能量离子减薄、不必使用粘度促进剂。
用于i线---的加工负胶系列:nr71-250p、nr71-350p、nr71-1000p、nr71-1500p、nr71-3000p、nr71-6000p、nr5-8000。
光刻胶市场
据统计资料显示,2017年光刻胶行业产量达到7.56万吨,较2016年增加0.29万吨,其中,本土光刻胶产量为4.41万吨,与7.99万吨的需求量差异较大,说明我国供给能力还需提升。
国内企业的光刻胶产品目前还主要用于pcb领域,代表企业有晶瑞股份、科华微电子。
在半导体应用领域,随着汽车电子、物联网等发展,会在一定程度上增加对g线、i线的需求,利好g线、i线等生产企业。预计g线正胶今后将占据50%以上市场份额,i线正胶将占据40%左右的市场份额,duv等其他光刻胶约占10%市场份额,给予北京科华、苏州瑞红等国内公司及美国futurrex的光刻胶较大市场机会。
赛米莱德-光刻胶 futurrex由 北京赛米莱德贸易有限公司提供。 北京赛米莱德贸易有限公司是北京 大兴区 ,半导体材料的见证者,多年来,公司贯彻执行科学管理、---发展、诚实守信的方针,满足客户需求。在赛米莱德---携全体员工热情欢迎---垂询洽谈,共创赛米莱德美好的未来。
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