福建负性光刻胶-赛米莱德-负性光刻胶价格

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    2020-9-21

况经理
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负性光刻胶
负性光刻胶

负性光刻胶分为粘性增强负性光刻胶、加工负性光刻胶、剥离处理用负性光刻胶三种。

a、粘性增强负性光刻胶

粘性增强负胶的应用是在设计制造中替代基于聚异戊二烯双---的负胶。粘性增强负胶的特性是在湿刻和电镀应用时的粘附力;很容易用光胶剥离器去除,厚度范围是﹤0.1 ~ 120.0 μm,可在i、g以及h-line波长---。

粘性增强负胶对生产量的影响,消除了基于溶液的显影和基于溶液冲洗过程的步骤。优于传统正胶的优势:控制表面形貌的优异带宽、任意甩胶厚度都可得到笔直的侧壁、具有一次旋涂即可获得100 μm甩胶厚度、厚胶层同样可得到---的分辨率、150 ℃软烘烤的应用可缩短烘烤时间、优异的---度进而增强---通量、更快的显影,100 μm的光胶显影仅需6 ~ 8分钟、光胶---时不会出现光胶气泡、可将一个显影器同时应用于负胶和正胶、不必使用粘度增强剂。

i线---用粘度增强负胶系列:np9–250p、np9–1000p、np9–1500p、np9–3000p、np9–6000p、np9–8000、np9–8000p、np9–20000p。

g和h线---用粘度增强负胶系列:np9g–250p、np9g–1000p、np9g–1500p、np9g–3000p、np9g–6000p、np9g–8000。

 b、加工负胶

    加工负胶的应用是替代用于rie加工及离子植入的正胶。加工负胶的特性在rie加工时优异的选择性以及在离子植入时优异的温度阻抗,负性光刻胶报价,厚度范围是﹤0.1 ~ 120.0 μm,负性光刻胶价格,可在i、g以及h-line波长---。

    加工负胶优于正胶的优势是控制表面形貌的优异带宽、任意甩胶厚度都可得到笔直的侧壁、具有一次旋涂即可获得100 μm甩胶厚度、厚胶层同样可得到---的分辨率、150 ℃软烘烤的应用可缩短烘烤时间、优异的---度进而增强---通量、更快的显影,福建负性光刻胶,100 μm的光胶显影仅需6 ~ 8分钟、光胶---时不会出现光胶气泡、可将一个显影器同时应用于负胶和正胶、优异的温度阻抗直至180 ℃、在反应离子束刻蚀或离子减薄时非常容易地增加能量密度,从而提高刻蚀速度和刻蚀通量、非常容易进行高能量离子减薄、不必使用粘度促进剂。

用于i线---的加工负胶系列:nr71-250p、nr71-350p、nr71-1000p、nr71-1500p、nr71-3000p、nr71-6000p、nr5-8000。


nr77-5000py

pr1-2000a1 试验操作流程

pr1-2000a1的厚度范围可以做到 1500到3500nm,负性光刻胶供应商,如下以膜厚2900nm为列;

1,静态滴胶后以1300转/分速度持续40秒。同时必须需要在1秒内达到从0转/分到1300转/分的升速度;

2,前烘:热板120度120秒;

3,冷却至室温;

4,用波长为365,406,436的波长---,

5,在温度为20-25度,使用rd6浸泡式、喷雾、显影 ;

6,去除光刻胶,可使用ch3coch3,rr5,rr41等。





光刻胶工艺

普通的光刻胶在成像过程中,由于存在一定的衍射、反射和散射,降低了光刻胶图形的对比度,从而降低了图形的分辨率。随着---加工特征尺寸的缩小,入射光的反射和散射对提高图形分辨率的影响也越来越大。为了提高---系统分辨率的性能,futurrex 的光刻胶正在研究在---光刻胶的表面覆盖抗反射涂层的新型光刻胶技术。该技术的引入,可明显减小光刻胶表面对入射光的反射和散射,从而---光刻胶的分辨率性能,但由此将引起工艺复杂性和光刻成本的增加。


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