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正性光刻胶

正性光刻胶也称为正胶。正性光刻胶树脂是一种叫做线性酚醛树脂的酚醛甲醛，nr7 6000py光刻胶公司，提供光刻胶的粘附性、化学抗蚀性，当没有溶解存在时，线性酚醛树脂会溶解在显影液中，感光剂是光敏化合物，常见的是------（dnq）。在---前，dnq是一种---的溶解，降低树脂的溶解速度。在紫外---后，dnq在光刻胶中化学分解，成为溶解度增强剂，大幅提高显影液中的溶解度因子至100或者更高。这种---反应会在dnq中产生羧酸，它在显影液中溶解度---。正性光刻胶具有---的对比度，所以生成的图形具有---的分辨率。

五、---

在这一步中，nr7 6000py光刻胶价格，将使用特定波长的光对覆盖衬底的光刻胶进行选择性地照射。光刻胶中的感光剂会发生光化学反应，从而使正光刻胶被照射区域（感光区域）、负光刻胶未被照射的区域（非感光区）化学成分发生变化。这些化学成分发生变化的区域，nr7 6000py光刻胶哪里有，在下一步的能够溶解于特定的显影液中。

在接受光照后，正性光刻胶中的感光剂dq会发生光化学反应，变为---，并进一步水解为茚并羧酸（indene-carboxylic-acid， ca），羧酸在碱性溶剂中的溶解度比未感光部分的光刻胶高出约100倍，产生的羧酸同时还会促进酚醛树脂的溶解。利用感光与未感光光刻胶对碱性溶剂的不同溶解度，就可以进行掩膜图形的转移。

---方法：

a、接触式---（contact printing）掩膜板直接与光刻胶层接触。

b、接近式---（proximity printing）掩膜板与光刻胶层的略微分开，大约为10～50μm。

c、投影式---（projection printing）。在掩膜板与光刻胶之间使用透镜---光实现---。

d、步进式---(stepper)